




實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)氣體管路
指氣瓶至儀器終端之間連接管線(xiàn),一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門(mén)-管線(xiàn)-過(guò)濾器-報(bào)警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成,輸送氣體為實(shí)驗(yàn)室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。
使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個(gè)半自動(dòng)調(diào)節(jié)閥來(lái)控制。所有氣體管路都是高質(zhì)量的、完全退火、無(wú)縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈,使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門(mén)、壓力調(diào)節(jié)閥門(mén)、壓力表來(lái)指示氣體壓力。
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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹
大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(chǎng)(氣體種類(lèi)包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(chǎng)(氣體種類(lèi)包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類(lèi)包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。閥門(mén)是管路流體輸送系統(tǒng)中控制部件,用來(lái)改變通路斷面和介質(zhì)流動(dòng)方向,具有導(dǎo)流、截止、節(jié)流、止回、分流或溢流卸壓等功能。
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試驗(yàn)室供氣需求
目前大多數(shù)試驗(yàn)室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質(zhì)譜儀、液相色譜質(zhì)譜儀、原子吸收分光光度計(jì)、原子熒光光度計(jì)、等離子發(fā)射光譜儀、電感耦合等離子質(zhì)譜儀等都需要連續(xù)使用高純載氣和燃?xì)?,因此試?yàn)室的安全、連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗(yàn)室中放置的分析儀器。氣體管路控制系統(tǒng)作用主要由氣源切換系統(tǒng)、管道系統(tǒng)、調(diào)壓系統(tǒng)、用氣點(diǎn)、監(jiān)控及報(bào)警系統(tǒng)組成。
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特種氣體鋼瓶在運(yùn)輸和儲(chǔ)存的注意事項(xiàng)
由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險(xiǎn)性,如氧氣遇油脂著火,氣瓶倒下使閥門(mén)拆斷引起飛瓶,惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運(yùn)及儲(chǔ)存中應(yīng)注意的一些安全事項(xiàng)。
氣體鋼瓶在運(yùn)輸和裝卸過(guò)程中應(yīng)輕裝輕卸,嚴(yán)禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。
使用氣體前應(yīng)按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上,并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時(shí)不要使用同一個(gè)減壓閥。
不應(yīng)在封閉空間內(nèi)用惰性氣體(如氮?dú)狻⒍趸嫉龋┻M(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。
燒焊時(shí),應(yīng)對(duì)氣體及電氣采取適當(dāng)?shù)谋Wo(hù)措施。不要使用損壞的設(shè)備,如軟管、電纜及焊槍等。
特種氣體氣瓶存放區(qū)應(yīng)比較干燥,并有良好通風(fēng),嚴(yán)禁明火和其它熱源,嚴(yán)禁曝曬可燃?xì)馄炕蜓鯕馄扛浇鼑?yán)禁吸煙,氣瓶不應(yīng)接觸到火花、火焰、熱氣及電路。
在儲(chǔ)存、運(yùn)輸及使用杜瓦罐時(shí)不能使其臥倒,應(yīng)永遠(yuǎn)使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。
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